Научно-исследовательская лаборатория растровой электронной микроскопии и электронно-зондового микроанализа
Основные направления научных исследований
1. Исследование воздействия низкотемпературной плазмы на материалы холодных катодов. По результатам исследований в 2005 году Р.И.Хабибулиным защищена диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук (спец. 01.04.07 - Физика конденсированного состояния) "Разработка особо долговечных электродов высокоинтенсивных газоразрядных источников электронов" (научный руководитель - д.ф.-м.н., проф. Бондаренко Г.Г.), работа выполнена в Научно-исследовательском институте перспективных материалов и технологий МГИЭМ (ТУ).

2. Разработка и исследование эффективных материалов для спин-волновой электроники. По результатам работ в 2003 году В.В.Шагаевым защищена диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук (спец. 01.04.07 - Физика конденсированного состояния) "Повышение термостабильности спин-волновых характеристик монокристаллических ферромагнитных пленок" (научный руководитель - д.ф.-м.н., проф. Бондаренко Г.Г.).

В 2009 году В.В.Шагаевым защищена диссертация на соискание ученой степени доктора физико-математических наук (спец. 01.04.07 - Физика конденсированного состояния) "Магнитодипольные колебания и волны в планарных ферритах: структурно-обусловленные особенности характеристик" (научный консультант - д.ф.-м.н., проф. Бондаренко Г.Г.), работа выполнена в Научно-исследовательском институте перспективных материалов и технологий.

Оборудование
Растровый электронный микроскоп EVO 40 фирмы Zeiss, оснащенный SDD кремниевым дрейфовым детектором X Flash 1106.
Это современный, универсальный, наиболее эффективный, аналитический растровый электронный микроскоп для проведения исследований во всех областях материаловедения физики, химии, микроэлектроники и других областях науки и техники.
Малый диаметр электронного зонда, высокая чувствительность к сигналам, разнообразные режимы сканирования позволяют получать качественные изображения с высоким разрешением для широкого спектра образцов.
Высокое энергетическое разрешение, высокая скорость счета, наиболее полный диапазон идентифицируемых элементов, большой набор способов снятия и методов расшифровки спектров делают EVO 40 с X Flash детектором лидером в классе микроскопов при проведении рентгеновского микроанализа.
Основные технические характеристики прибора.
EVO 40. Разрешение: 40 ? ( вольфрамовый катод )
Увеличение: от 20х до 1 000 000х
Ускоряющее напряжение: от 0,2 кВ до 30 кВ
Ток зонда: от 0,5 пА до 1 мкА
Аналитическое расстояние: от 3 мм до 35 мм
X Flash детектор.
Энергетическое разрешение: 127 эВ
Диапазон анализируемых элементов: от Бора (5) до
Америция (95)

Вакуумный пост JEE-420 фирмы JEOL для пробоподготовки образцов электронной микроскопии - нанесения тонких токопроводящих пленок на диэлектрические образцы методом термического распыления в высоком вакууме.

Решаемы задачи
  • Исследование структуры поверхности металлов, полупроводников, диэлектриков
  • Исследование структуры порошковых материалов
  • Исследование деталей, узлов и изделий микроэлектроники, СВЧ-приборов и т.п. для выявления дефектов, брака, причин отказа в работе
  • Исследование структуры поверхности материалов после термообработки, пластической деформации, воздействия концентрированных потоков энергии и т.п. при имитационных и натурных испытаниях, подборе режимов технологической обработки или разработке новых материалов
  • Проведение классического качественного и количественного анализа в точке
  • Проведение анализа объектов произвольной формы
  • Проведение автоматического многоточечного анализа
  • Запись профилей концентрации по выбранной линии
  • Элементное картирование с цветокодировкой по элементному составу
Наши партнеры
    а) сейчас: - ОАО «Плутон».
    - ООО «Базовые технологии вакуумных приборов»
    - ОАО « НИИ «Полюс» им. М.Ф. Стельмаха»
    - Научно-исследовательский институт металлургии и материаловедения им. А.А. Байкова.
    - Научно-исследовательский институт ядерной физики МГУ им. М.В.Ломоносова.

    б) раньше:
    - Кафедры МИЭМ:«Материаловедение электронной техники», «Физические основы электронной техники», «Технологические системы электроники», «Лазерные и микроволновые информационные системы», «Инженерная и машинная графика».
    - К Б «Корунд-М».
    - ОАО НПЦ «Тверьгеофизика».
    - Объединенный институт ядерных исследований Дубна.
    - Курчатовский институт.
    - Физический институт им. П.И. Лебедева РАН.
    - МГТУ им. Н.Э. Баумана.
Наверх
ФГБНУ «НАУЧНО-ИСЛЕДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ ПЕРСПЕКТИВНЫХ МАТЕРИАЛОВ И ТЕХНОЛОГИЙ»
Наши контакты:
8 (499) 283-90-63
Отдел ИТ ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2006-2019.